difuzijska pumpa, pumpa za postizanje visokoga vakuuma (~10–4 Pa) u kojoj mlaz žive ili ulja (već prema vrsti pumpe) zahvaća molekule zraka što se u posudi difuzijski šire i odnosi ih prema izlazu.
Primarnom rotacijskom pumpom u posudi se postiže tlak od ~10–1 Pa. Stijenke posude hlade se tekućim dušikom. Na dnu posude nalazi se grijač koji zagrijava živu ili ulje. Dolazi do isparavanja, para se podiže i potom se ispuhuje kroz uske mlaznice. Mlaz pare na svom putu zahvaća molekule zraka i usmjerava ih prema izlazu. Pri sudaru sa stijenkama posude živina ili uljna para kondenzira se i slijeva prema dnu gdje se ponovno zagrijava. Difuzijska pumpa služi u laboratorijskim istraživanjima, u proizvodnji poluvodiča, elektroničkih elemenata, za metalizaciju i oblaganje stakla i sl.