difuzijska pumpa, uređaj za postizanje visokog vakuuma (~10–4 Pa). Grijanjem žive ili ulja (već prema tipu pumpe) u posudi kojoj se stijenke hlade tekućim dušikom, i u kojoj je rotacijskom vakuum-pumpom postignut tlak od najviše ~10–1 Pa, dolazi do isparavanja (žive ili ulja), otapanja molekula zraka difuzijskim procesima (otuda ime) te kondenzacije na hlađenim stijenkama. Unutar difuzijske pumpe, rotacijskom se pumpom na dnu održava tlak ~10–1 Pa, dok u gornjem dijelu odvođenjem molekula plina tlak opada do ravnotežnog od ~10–4 Pa. Difuzijska pumpa služi u laboratorijskim istraživanjima, kod proizvodnje poluvodiča, elektroničkih elemenata i sl.